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  • 卷對卷清洗機 Roll to Roll Cleaner

    概要    

    軟性顯示器之濕制程設備,是將光學級的軟性透明導電層經過連續式的光阻涂布、曝光、顯影、蝕刻制程完成所需要的透明電極 。    

    Rise-tech持續開發Roll to Roll軟性顯示器濕制程設備,并在制程設備系統加入許多自有Know How。為了測試不同蝕刻液對軟性透明導電基板的蝕刻特性,如草酸、王水、鹽酸、硫酸系統,必須更換槽體、管路的材質,現已掌握并精度應用各種蝕刻液對濃度、溫度、時間的蝕刻參數數據庫。    


      連續式導電層圖案化制程技術    

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      制程目標與說明:

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    卷對卷面板顯示行業設備

    卷對卷清洗機 Roll to Roll Cleaner    

    清洗方式與機構:放板進料→入料→脫脂→加壓水洗*3→BJ洗凈→純水洗→吹干/烘干→出料→收板出料
    具除靜電模塊    

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     卷對卷老化爐 Roll to Roll Aging

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    卷對卷涂布機+烘烤 Roll to Roll Coater&Baker    

    涂布膜厚范圍: 5μm~10μm
    具干燥模塊
    膜厚均勻性 ±5%
    具除靜電模塊    

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    卷對卷顯影蝕刻剝膜機 ITO Film DES Line    

    顯影槽
    蝕刻槽 (可使用混酸系統)
    具水洗槽及風刀模塊
    具除靜電模塊    

    顯影藥液段噴盤擺動設計: 增加藥液反應均勻性穩定度
    藥液槽洗槽設計:自動洗槽設計,確保Maintain時人員操作安全
    Tank間接加熱設計: 有效控制溫度精準度
    藥液段液位設計: 達成計時計片添加需求
    Cone Type 噴嘴設計: 強調顯影均勻性
    磁性環傳動: 防止Particle產生
    滾輪設計: UPE Roller(三件式) 增加傳動穩定度以及防止輪以及刮傷產生    

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